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半導體特殊氣/液體鋼瓶供應系統洩漏訓練模組
半導體製造為臺灣的關鍵產業之一,因其製程特性常使用到不同特殊性質之氣、液相化學原料,例如腐蝕性、毒性、可燃性、自燃性或禁水性等,一旦洩漏將對人員與環境有高度危害潛勢。
然而,國內外並無針對此特殊化學物質之外洩訓練模組,因此南訓中心著手自行開發此模組,以現階段半導體產業使用之供應系統機台為基底並進行改裝,此模組包含了原有供應系統的自動吹掃循環、測漏、安全聯鎖、氣體/火焰/煙霧偵測器、抽氣及尾氣處理設備等裝置,再加入可控制的洩漏點與真實的稀釋氣體來模擬洩漏。
「半導體特殊氣/液體鋼瓶供應系統洩漏應變訓練模組」具備產生真實之化學品洩漏後,造成機台安全連鎖作動之情境,訓練應變人員如何進行緊急應變處置,包含使用偵測器尋找洩漏源並配合適當設備止漏或遮斷源頭、安全卸除鋼瓶及封存等應變作業。